MITSUI PELLICLE

领先世界的光掩模防尘用薄膜

  • 光学特性
  • 清洁性

用途

薄膜材料的演变

薄膜材料的演变

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无尘结构

使用特殊粘接材料覆盖铝合金框架表面,防止框架产生灰尘,并保持内壁附着的异物。
不使用可产生灰尘的双面粘接薄膜,将特殊粘接剂直接涂在框架上。该涂布型光掩模粘接剂易从光掩模上剥离,可轻松清洗光掩模。

结构图

结构图

MITSUI PELLICLE<sup>™</sup>

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